生产精密电子产品的无尘室又称无尘车间,即在一定空间内清除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物,控制室内温度、清洁度、室内压力、气流速度和空气质量。实验室净化无菌试验室-洁净实验室-生物安全实验室的建设方案包括:建筑布局和装修、空气调节、给排水、气体供应、电气设计、集中控制、安防、施工工艺、检测、培训等多方面内容。气流分布、噪声、振动、照明和静电在一定要求下。在此范围内,提供一个专门设计的房间。也就是说,无论外部空气条件如何变化,室内空气都能保持原有设定要求的洁净度、温度、湿度和压力。精密电子产品主要在无尘车间(含无尘车间)生产。
无尘车间主要用于电子、半导体、食品、印刷、包装等行业。随着社会的发展,越来越多的行业也需要无尘车间净化工程。生产过程的需要与生产设备和生产环境密切相关。
在电子生产车间,随着人们进出,他们经常带来大量的灰尘颗粒,而高精度的电子元件具有极高的环境要求,并且经常遵循所生产的电子元件的质量。空气中悬浮的尘埃颗粒有很大关系,因此在电子生产车间,通常需要建立一个无尘车间,以确保空气中悬浮颗粒的数量,以确保电子元件的高质量,以及洁净室设备中的负离子净化。空气系统降低了空气中悬浮颗粒的浓度,使电子生产环境更加清洁。
电子制造业10000无尘车间特点:
清洁度等级高,风量、温度、湿度、压差、设备废气根据需要控制,照度、洁净室横截面风速根据设计或规范进行控制,此外,这种洁净室对静电的要求非常严格。其中,对湿度的要求特别严重。因为太干燥的设备容易产生静电,导致CMOS集成损坏。一般来说,电子车间的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50%~60%(特殊无尘车间有相关的温湿度规定)。此时,可以有效地消除静电,使人们感到舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室、磁盘制造车间是电子制造业洁净室的重要组成部分。由于在电子产品制造和生产过程中对室内空气环境和质量的严格要求,主要目的是控制颗粒和浮尘。同时,严格规定了环境的温湿度、新风风量和噪声。
●电子制造商10,000级洁净室的噪音水平(空状态):不应超过65dB(A)
垂直流洁净室全覆盖率不低于60%,水平单向流洁净室全覆盖率不低于40%。否则,会发生局部单向流。
洁净室与室外的静压差不得小于10 pa,不同空气清洁度的洁净区与非洁净区的静压差不得小于5 pa。
●电子制造业10,000级洁净室的新风量应为以下两项中的最大值。
补偿维持室内正压所需的室内排气和新鲜空气之和。