所有高纯度和高度清洁的气体都需要通过管道输送到POU。为了满足工艺对气体的质量要求，在气体出口指标确定的情况下，应更加重视管道系统的材料选择和施工质量。除了取决于气体生产或净化设备的精度之外，它还受到管道系统中许多因素的极大影响。因此，管材的选择应严格遵守相关行业原则，并在图纸中注明管材。

管道材料根据使用要求选择。如果是该工艺的反应气体，则选择经过电抛光处理、耐腐蚀和低表面粗糙度的316厘泊高等级管道。rmax(maximumpeaktovalleyh8)约为0.3μm或更小，远低于经过光亮退火处理的316LBA管的0.8μm。平面度越高，形成微涡流的可能性就越小，从而带出被污染的颗粒。316LBA管通常用于与芯片接触但不参与工艺反应的气体，如GN2和CDA。管道内表面的粗糙度是测量管道质量的标准。粗糙度越低，该粒子的携带可能性越大。

另一个未经过特殊处理的AP管(退火和拣选)用于未用作供气管道的两组外管。目前，我国清洁管道的参考标准相对较少。一般来说，除了参考行业相关技术规范如“洁净车间设计规范”、“氢站设计规范”、“氢氧站设计规范”和“压缩空气设计规范”外，我们行业中常用的材料选择和管道一般参考国际公认的行业标准:

在半导体工业中，线宽越来越小，对气体纯度、粒度、杂质含量和露点的要求越来越高。

高纯氮(PN2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀门或球阀。

高纯氢(PH2)氢(H2):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。氩气(Ar):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管道，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦(He):系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀门或隔膜阀。

特殊气体系统:如有必要，需要双套管:外管酸洗钝化处理和内管电解抛光。阀门采用波纹管阀或相同材料的隔膜阀。压缩空气(CDA):系统管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材料的球阀(铜管也可用于要求较低的公司，具体取决于工艺要求)

对于特殊气体，有许多种气体和许多有毒有害气体。原来有一台机器装有气柜。设备组合和维护成本高，大大增加了投资成本，部分设备也布置在工艺室内，存在泄漏的安全隐患。目前，集中供气系统被广泛使用。气柜集中，自动控制系统不断完善。其报警、喷淋、切换和吹扫更加成熟。专用气体室也与工艺室隔离，并有防爆要求。工作的安全性大大提高了。

对于腐蚀性、毒性和可燃性气体，通常设计为将钢瓶放置在气柜中，然后通过管道将气体供应到现场附近的阀箱(VMB，ValveManifoldBox)，然后进入加工机的POU (POU，PointofUse)。在进入机器腔体之前，将有一个独立的气体控制面板(GB，GasBox)连接到过程控制模块，质量流量控制器(MFC)用于控制进气的流量和混合比。通常，这种气体控制面板不属于工厂系统的设计范围，而是属于加工机械设备的一部分。普通惰性气体由开放式气柜和阀板(VMP)提供。

超洁净不锈钢管、配件和阀门的定义:

用途:不锈钢清洁管用于半导体行业输送高纯或超纯清洁气体，生物制药行业输送清洁管(各种水)。表面处理方式：

 RA值的比较(RoughnessAverage,粗糙度平均值)

 材质表面处理方式内表面粗糙度平均值(um)

 316LAPRA〈=1.0

 316LBARA〈=0.8

 316LEPRA〈=0.13-0.2

纯气体管道技术是高纯气体供应系统的重要组成部分，是保证合格高纯气体能够输送到气点的关键技术。所谓高纯气体管道技术，包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工和安装、测试和试验等。近年来，以大规模集成电路为代表的微电子产品的生产对高纯气体的纯度和杂质含量要求越来越高，使得高纯气体的管道技术越来越受到关注和重视。以下是从材料选择到施工、验收和日常管理的高纯气体运输的简要概述。